方均科技 Parylene-AF4 薄膜作為 TGV 中的緩衝層

Intel 專利指出，在導電層與 TGV 側壁之間設有應力緩衝層

為什麼 Parylene-AF4 可以用作 TGV 的緩衝層？

(1) 低彈性模數 (4~5 GPa) 聚合物薄膜：可緩解玻璃／金屬介面應力 (<10 GPa)

(2) 高深寬比 (50:1) 三防塗層：可在 TGV 通孔結構上形成均勻塗佈

(3) 分子級薄膜製程：可填補玻璃基板表面的缺口、裂縫與微細孔隙

(4) 耐高溫 (350 °C) 聚合物特性：通過 TGV 金屬化退火 (300 °C) 與熱循環可靠性測試

 

 

SEM 橫截面觀察：Parylene-AF4 薄膜在 TGV 深孔中的覆蓋性

(1) 8 吋 TGV 玻璃晶圓：孔徑 φ50 µm / 深度 450 µm / 間距 200 µm（孔對孔），深寬比 AR = 1:9

(2) Parylene-AF4 膜層：作為 TGV 深孔中的緩衝層，在 TGV 通孔結構上形成均勻膜厚（800 nm ~ 900 nm）