服務項目

Parylene CVD鍍膜設備販售

Parylene 精密鍍膜系統

(1) Parylene-AF4、-C 專用蒸鍍模組
 
(2) 設備尺寸:
 
     寬 319 cm / 高 218 cm(含警示燈塔)/ 深 166.8 cm
 
(3) 腔體尺寸: 可依需求客製化,FCS 標準型號如下:
 
 
    PBW750:Φ750 mm × H 750 mm
 
    PBW880:Φ850 mm × H 850 mm
 
(4) 可客製化上料治具設計,適用多樣鍍膜產品
 
(5) 半導體等級真空零組件
 
(6) CE 符合性宣告
 
(7) Parylene 鍍膜厚度精度:±10%@鍍膜腔體
 
     例如:設定膜厚 2 µm,規格範圍為 1.8~2.2 µm
 
(8) Parylene 鍍膜厚度均勻性:±10%@鍍膜腔體
 
     均勻性公式:1 - (Tmax - Tmin) / (Tmax + Tmin)
 
 
 

Parylene 奈米鍍膜代工SOP流程

Step1

來料檢驗確認功能需求

  • IP防水、絕緣耐高壓、耐化防護、表面潤滑
 
Step2

設定鍍膜材料/膜厚

  • Parylene - C
  • Parylene - N
  • Parylene - AF4
 
Step3

選擇適用治具防護

  • 局部不鍍膜區域進行Mask遮蔽
 
Step4

來料清潔/前處理

  • 清除來料表面髒汙
 
Step5

乾燥處理

  • 去除來料水氣
 
Step6

進行奈米鍍膜製成

  • 專用設備進行鍍膜加工
 
Step7

移除治具/外觀檢查

  • 移除防護治具、確認鍍膜外觀品質
 
Step8

膜厚檢驗/包裝出貨

  • 量測膜厚確認、來料包裝出貨
 
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Parylene 奈米鍍膜的特性與優勢

保形表面鍍膜

1. 傳統鍍膜:由於膜層厚度有限,無法完全覆蓋產品的縫隙或邊角,容易造成保護缺陷,並影響產品使用壽命。

2. 奈米鍍膜:奈米分子可完全滲透至產品各部位,並經由聚合反應形成保護膜。

保形表面鍍膜

高深寬比 (50:1) 三防塗層,可應用於 TGV/TSV。

防水塗層

具備高絕緣性與防水特性,並可防潮、防鏽。

無針孔塗層

良好的覆蓋能力,膜厚均勻且無針孔。

生物相容性

符合 USP XXII Class VI 生物相容性標準,並符合 IPC-CC-830 / MIL-I-46058C 規範。
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